Labor für 3D-NANO-Strukturen

Mit der 3D-Nano-Lithographie können ähnlich einem 3D-Druck dreidimensionale Objekte hergestellt werden. Im Vergleich zum 3D-Druck sind Strukturen bei der 3D-Nano-Lithographie um einen Faktor 10.000 kleiner und fangen ab etwa 100 nm an. (Ein menschliches Haar hat beispielsweise einen Durchmesser von 60 bis 80µm, ist also 600 bis 800mal größer als die kleinste mögliche Struktur bei der 3D-Nano-Lithographie).


"500µm hoher Eiffel-Turm"

Mit Hilfe von Standard CAD-Software können die Objekte designed und gezeichnet werden. Die CAD-Daten werden anschließend in das 3D-Nano-Lithographie-Gerät überspielt, so dass die Strukturen dann mit einem stark fokusierten Laser in einen fotoempfindlichen Lack „geschrieben“ werden.






• Minimale Struktur 100nm, d.h. 10.000 kleiner als 3D-Druck


• 3D-geometrische Strukturen mit nur wenigen Einschränkungen.


Beim 3D-Drucken sind u.U. Stützkonstruktionen notwendig, die bei der


3D-Nano-Lithographie nicht gebraucht werden.



Themenfelder & Anwendungsgebiete:


• Sensoren


• Packages


• optische Anwendungen


• biologische Anwendungen



Minimale Strukturbreiten etwa 100 nm, maximale Strukturhöhen über 500 µm



Ausstattung


• 3D-Nano-Laserlithogpraphie-Anlage (2-Photonen-Polymerisation) von der Firma Nanoscribe GmbH


• Mikroskop der Firma Nikon mit bis zu 1000-facher optischer Vergrößerung



Projekte


• Bachelor- & Masterarbeiten


• Optische Elemente für STED-Mikroskopie


in Kooperation mit dem Multiphoton Imaging Lab von Prof. Th. Hellerer (FK06)



Laborversuche


• Nano-3D-Druck







Laborleiter

Prof. Dr. Matthias Rebhan
Raum: R 5.016

Tel.: 089 1265-3934
Fax: 089 1265-3902

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